高校科研单位无形资产评估的具体步骤通常包括：

明确评估目的和范围：确定评估是为了财务报告、并购交易、资产管理还是其他目的，并明确要评估的具体无形资产种类和数量。

核查产权：核查无形资产是否被委托者所拥有或为他人所有，确保无形资产的产权清晰，没有法律纠纷。

收集资料：收集与无形资产相关的数据，包括无形资产（专利）证书复印件、专利申请说明书、权利要求书、相关图纸说明、专利最近一次交费发票复印件，以及可行性研究报告、财务数据、技术文档、市场信息等。

整理数据：整理和清理所收集的数据，确保其准确性和完整性。

分析鉴定：分析鉴定无形资产使用的技术和经济条件，鉴定其应用能力，并分析评估对象是否形成了无形资产，确定无形资产的种类、具体名称和存在形式。

选择评估方法：根据无形资产的特性选择合适的评估方法，可能包括市场法、收益法、成本法等，有时需要综合运用多种方法。

制定假设：制定评估所需的各种假设，包括未来收益、成本、增长率等，并确保这些假设是合理的。

建立评估模型：基于选择的评估方法和假设，建立评估模型。

实地调查：对无形资产进行实地调查，了解其实际使用情况、技术状况、市场影响等因素。

撰写评估报告：由评估师撰写评估报告，明确评估的方法、过程、假设、结果等。

审查评估报告：进行内部和外部审查，确保评估的准确性和合规性。

提交报告：提交最终的评估报告，并与相关利益相关方（如管理层、投资者）进行沟通，解释评估的过程和结果。

以上步骤是一个一般性的框架，具体的评估程序可能会因项目性质、行业特征和法规要求而有所不同。